专利详情

专利名称	基于SiC热电材料的高温热流传感器
申请号	CN201721869225.6	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN208270086U	公开（授权）日	2018.12.21
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	李铁;田伟;王跃林
主分类号	G01J5/12(2006.01)I	IPC主分类号	G01J5/12(2006.01)I;H01L35/32(2006.01)I;H01L35/34(2006.01)I
专利有效期	基于SiC热电材料的高温热流传感器至基于SiC热电材料的高温热流传感器	法律状态
说明书摘要	本实用新型提供一种基于SiC热电材料的高温热流传感器，包括：SiC衬底，具有第一表面和第二表面，第一表面上设有沟槽及由沟槽围绕形成的平台区域；复合介质膜，覆盖沟槽及平台区域；隔热腔体，设于SiC衬底中，由第二表面向内凹入，位于平台区域的部分复合介质膜下方；P型SiC薄膜电阻块及N型SiC薄膜电阻块，位于平台区域的复合介质膜上，且局部位于隔热腔体上方；绝缘介质层，覆盖P型SiC薄膜电阻块及N型SiC薄膜电阻块以及复合介质膜；金属图层，形成于绝缘介质层上，包括电极及引线，将P型SiC薄膜电阻块及N型SiC薄膜电阻块连接形成热电堆。本实用新型采用具有优异高温性能的单晶SiC作为热电材料，可实现高温恶劣环境中热流密度的快速、准确测量。