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单片集成在光电探测器上的金属纳米光天线

  • 申请号:CN201820500481.6
  • 专利类型:实用新型
  • 申请(专利权)人:中国科学院上海技术物理研究所
  • 公开(公开)号:CN208224516U
  • 公开(公开)日:2018.12.11
  • 法律状态:
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 单片集成在光电探测器上的金属纳米光天线
申请号 CN201820500481.6 专利类型 实用新型
公开(公告)号 CN208224516U 公开(授权)日 2018.12.11
申请(专利权)人 中国科学院上海技术物理研究所 发明(设计)人 姚鹏飞;李淘;李雪;邵秀梅;龚海梅
主分类号 G02B5/00(2006.01)I IPC主分类号 G02B5/00(2006.01)I;G02B6/122(2006.01)I
专利有效期 单片集成在光电探测器上的金属纳米光天线 至单片集成在光电探测器上的金属纳米光天线 法律状态
说明书摘要 本专利公开了一种单片集成在光电探测器上的金属纳米光天线,从上至下依次是低折射率覆盖层,金属纳米球体阵列和探测器衬底。所述低折射率覆盖层的折射率在1.3至2.3之间,金属纳米球体直径300?500纳米,周期700?900纳米。金属纳米天线结构通过光散射与表面局域场增强效应,可以提升探测器的光吸收性能,增强探测器对入射光的响应,改善量子效率,并且制备工艺简单,制备成本低。

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