单片集成在光电探测器上的金属纳米光天线
- 申请号:CN201820500481.6
- 专利类型:实用新型
- 申请(专利权)人:中国科学院上海技术物理研究所
- 公开(公开)号:CN208224516U
- 公开(公开)日:2018.12.11
- 法律状态:
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专利详情
专利名称 | 单片集成在光电探测器上的金属纳米光天线 | ||
申请号 | CN201820500481.6 | 专利类型 | 实用新型 |
公开(公告)号 | CN208224516U | 公开(授权)日 | 2018.12.11 |
申请(专利权)人 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 发明(设计)人 | 姚鹏飞;李淘;李雪;邵秀梅;龚海梅 |
主分类号 | G02B5/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B5/00(2006.01)I;G02B6/122(2006.01)I |
专利有效期 | 单片集成在光电探测器上的金属纳米光天线 至单片集成在光电探测器上的金属纳米光天线 | 法律状态 | |
说明书摘要 | 本专利公开了一种单片集成在光电探测器上的金属纳米光天线,从上至下依次是低折射率覆盖层,金属纳米球体阵列和探测器衬底。所述低折射率覆盖层的折射率在1.3至2.3之间,金属纳米球体直径300?500纳米,周期700?900纳米。金属纳米天线结构通过光散射与表面局域场增强效应,可以提升探测器的光吸收性能,增强探测器对入射光的响应,改善量子效率,并且制备工艺简单,制备成本低。 |
交易流程
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