专利详情

专利名称	一种高精度质谱检出限的检测装置
申请号	CN201820946643.9	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN208208713U	公开（授权）日	2018.12.07
申请（专利权）人	中国科学院光电研究院	发明（设计）人	罗艳;吴晓斌;王魁波;谢婉露;张罗莎;张立佳
主分类号	H01J49/02(2006.01)I	IPC主分类号	H01J49/02(2006.01)I;H01J49/42(2006.01)I
专利有效期	一种高精度质谱检出限的检测装置至一种高精度质谱检出限的检测装置	法律状态
说明书摘要	一种高精度质谱检出限的检测装置，所述检测装置包括待测高精度质谱仪、真空腔室、分子泵、干泵、隔膜泵、微调阀、金属细管、金属毛细管和大气采样阀。通过所述金属毛细管对空气进行采集，逐级减压地，并通过金属细管将采样空气直接运送到高精度质谱仪的离子源中，从而避免了真空腔室本底、高精度质谱仪真空本底、灯丝反应物和碎片分子反应物的干扰，高精度质谱仪直接分析空气中低浓度稀有气体的同位素谱图，从而保证了其检出限检测的精确度。相比已有的技术成果，本实用新型的一种高精度质谱检出限的检测装置简单可靠，通过一次有效的测试，即可直观可比地获得检出限的数量级；通过简单地计算，即可精确可靠地获得四极质谱仪的最小可检浓度和最小可检分压。