专利详情

专利名称	亚微米约瑟夫森隧道结
申请号	CN201820593243.4	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN208078023U	公开（授权）日	2018.11.09
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	张雪;张国峰;王永良;荣亮亮;王镇;谢晓明
主分类号	H01L39/02(2006.01)I	IPC主分类号	H01L39/02(2006.01)I;H01L39/24(2006.01)I
专利有效期	亚微米约瑟夫森隧道结至亚微米约瑟夫森隧道结	法律状态
说明书摘要	本实用新型提供一种亚微米约瑟夫森隧道结，包括：衬底；约瑟夫森结，位于衬底的上表面，约瑟夫森结包括由下至上依次叠置的底电极、势垒层以及顶电极，顶电极包括第一亚微米线条及第二亚微米线条，第二亚微米线条位于第一亚微米线条上方，且与第一亚微米线条呈十字交叉连接；第一绝缘层，覆盖势垒层及约瑟夫森结周围的衬底；第二绝缘层，覆盖于第一绝缘层的表面，第二绝缘层内形成有暴露出第一亚微米线条的第一开口，第二亚微米线条与第一开口内的第一亚微米线条相接触，并延伸至第二绝缘层的上表面。本实用新型不仅改善了边缘效应、降低了台阶过渡处漏电流的产生，还有利于提高约瑟夫森结的质量及可靠性。