专利详情

专利名称	微型真空计
申请号	CN201820515143.X	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN208206381U	公开（授权）日	2018.12.07
申请（专利权）人	昆山光微电子有限公司;中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	魏德波;候影;刘瑞文;傅剑宇;吕文龙;王玮冰;陈大鹏
主分类号	G01L21/00(2006.01)I	IPC主分类号	G01L21/00(2006.01)I
专利有效期	微型真空计至微型真空计	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种微型真空计，包括底座、框架、绝缘基底、二极管、电阻、悬臂梁和电学连线，框架固定在底座四周，悬臂梁至少为两个，悬臂梁的一端与绝缘基底固定连接，悬臂梁的另一端固定于框架的上侧面上，至少两个悬臂梁将绝缘基底悬空固定于框架上；二极管和电阻设于绝缘基底上，电学连线将电阻和二极管电性连接并从悬臂梁上引出。本实用新型通过配置二极管数量、二极管的串并联方式、串联电阻大小、绝缘基底与底座之间的间隙实现对不同真空度的精确检测，具有配置灵活、灵敏度高、量程大的优点。此外，该真空计还具有结构及制作方法简单、与CMOS工艺兼容、加工误差容限大、成本低等优点。