专利详情

专利名称	光刻光源传输光路系统的辅助调整装置
申请号	CN201820656776.2	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN208076921U	公开（授权）日	2018.11.09
申请（专利权）人	中国科学院光电研究院	发明（设计）人	苏佳妮;齐月静;王宇;卢增雄;杨光华;齐威
主分类号	G03F7/20(2006.01)I	IPC主分类号	G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	光刻光源传输光路系统的辅助调整装置至光刻光源传输光路系统的辅助调整装置	法律状态
说明书摘要	本实用新型提供了一种光刻光源传输光路系统的辅助调整装置，该辅助调整装置包括能够分别安装在不同的所述反射镜装置上的第一辅助架和第二辅助架，第一辅助架的前端表面设有透光的标记部，标记部位于第一辅助架的中心，第一辅助架的后端设有能够与反射镜装置或激光光源相配合连接的第一接口，第二辅助架的前端设有反射元件，第二辅助架的后端设有能够与反射镜装置相配合连接的第二接口，激光光源发出的光线能够穿过所述标记部在反射镜装置的表面成像形成第一光斑，并且该第一光斑能够经第二辅助架的反射元件反射后返回至第一辅助架。本实用新型利用标记辅助架和反射辅助架配合调整，能实现长距离传输光路中光斑位置及形状的快速、准确调整。