专利详情

专利名称	基于声光可调谐滤波器的光学相干显微光谱成像探测装置
申请号	CN201820526797.2	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN208155456U	公开（授权）日	2018.11.27
申请（专利权）人	中国科学院西安光学精密机械研究所	发明（设计）人	王鹏冲;胡炳樑;魏儒义;陈莎莎;吴银花;崔昕昕;韩亚娟;韩意庭
主分类号	G01J3/28(2006.01)I	IPC主分类号	G01J3/28(2006.01)I
专利有效期	基于声光可调谐滤波器的光学相干显微光谱成像探测装置至基于声光可调谐滤波器的光学相干显微光谱成像探测装置	法律状态
说明书摘要	本实用新型涉及一种基于声光可调谐滤波器的光学相干显微光谱成像探测装置，该装置可以超速的、高精度的、无接触的进行物体表面光谱成像和表面三维强度信息探测。该装置中光源产生的辐射光被光纤耦合器分为两束光；一束光被第一偏振控制调制后再经第一准直透镜组准直后被可沿X向移动的反射镜反射后形成参考光，参考光沿原路返回至2×2光纤耦合器；另一束光被第一聚焦透镜聚焦在样品上后产生样品反射光，样品反射光与参考光在2×2光纤耦合器内产生干涉光，干涉光被第二准直透镜组准直后再由第二偏振控制调制进入AOTF滤波单元中；AOTF滤波单元中产生偏振光然后被探测器采集，探测器与计算机连接；光谱信息经计算机处理后可得到样品的三维层析图像。