专利详情

专利名称	液滴靶生成装置及其温度控制系统
申请号	CN201820565865.6	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN208077022U	公开（授权）日	2018.11.09
申请（专利权）人	中国科学院光电研究院;中国石油大学（北京）	发明（设计）人	张立佳;张理垟;郭馨;王岩庆;范元媛;李慧;吴晓斌;齐月静;周翊
主分类号	G05D23/19(2006.01)I	IPC主分类号	G05D23/19(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	液滴靶生成装置及其温度控制系统至液滴靶生成装置及其温度控制系统	法律状态
说明书摘要	本实用新型涉及温度控制系统技术领域，具体涉及一种液滴靶生成装置及其温度控制系统。本实用新型旨在解决液滴靶生成装置温度稳定差的技术问题。为此目的，本实用新型提供的一种温度控制系统包括依次连接的压缩机、冷凝器、节流装置和蒸发器，蒸发器设置于换热室内，用于对换热室内的流体降温，温度控制系统还包括流通管，流通管的第一端与换热室连通，流通管的第二端与用于冷却液滴靶生成装置的冷却装置连通，其中，流通管上设置有与控制器连接的流量调节阀，控制器通过流量调节流入冷却装置的流体流量。本实用新型通过控制器和流量调节阀调节流入冷却装置的流体流量，通过不同的流体流量调节液滴靶生成装置的温度。