专利详情

专利名称	光刻机投影物镜像方视场的在线测量装置
申请号	CN201820656372.3	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN208076920U	公开（授权）日	2018.11.09
申请（专利权）人	中国科学院光电研究院	发明（设计）人	苏佳妮;卢增雄;齐月静;杨光华;王宇
主分类号	G03F7/20(2006.01)I	IPC主分类号	G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	光刻机投影物镜像方视场的在线测量装置至光刻机投影物镜像方视场的在线测量装置	法律状态
说明书摘要	本实用新型提供一种光刻机投影物镜像方视场的在线测量装置，属于投影光刻性能检测领域，旨在解决现有技术中由于投影物镜像方视场较大、没有足够大尺寸的探测器直接在线测量的技术问题，其中，所述在线测量装置包括探测器、掩模板、掩模台和工件台，所述掩模板的中心具有长方形孔，在线测量时，光束将掩模板的长方形孔经所述投影物镜成像到像面处，所述探测器探测所述像面处的成像，所述在线测量装置基于掩模板标记成像的方式，解决了现有技术中存在的投影物镜像方视场较大、没有足够大尺寸的探测器进行直接测量的问题，实现了投影物镜集成后像方视场的在线测试，且测量速度快、易于推广应用。