专利详情

专利名称	一种大尺寸反应烧结碳化硅烧结过程的支撑结构
申请号	CN201710860959.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN107764069A	公开（授权）日	2018.03.06
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	张舸;董斌超;张学军;崔聪聪;曹琪;包建勋
主分类号	F27D5/00(2006.01)I	IPC主分类号	F27D5/00(2006.01)I;C04B35/622(2006.01)I;C04B35/573(2006.01)I
专利有效期	一种大尺寸反应烧结碳化硅烧结过程的支撑结构至一种大尺寸反应烧结碳化硅烧结过程的支撑结构	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种大尺寸反应烧结碳化硅烧结过程的支撑结构，属于反应烧结碳化硅制备技术领域。本发明所述支撑结构由上石墨板、下石墨板和位于两石墨板中间的陶瓷球构成，主要是通过置于石墨板沉台内的陶瓷球实现滚动支撑；陶瓷球的滚动可以实现支撑区域位置的变化，而且支撑区域位置变化时只受陶瓷球的滚动摩擦力，由于陶瓷球的滚动摩擦力很小，坯体的热胀冷缩过程几乎不受支撑区域的约束限制，可以实现坯体的自由膨胀与收缩，大大减小烧结过程中坯体的应力，提高制备过程中的成品率。