专利详情

专利名称	基于混合集成的片上光源结构及其制备方法
申请号	CN201710131860.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106980160A	公开（授权）日	2017.07.25
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	刘丰满;曹立强
主分类号	G02B6/42(2006.01)I	IPC主分类号	G02B6/42(2006.01)I
专利有效期	基于混合集成的片上光源结构及其制备方法至基于混合集成的片上光源结构及其制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种基于混合集成的片上光源结构，包括载板、载板互连线、激光器、准直透镜、光隔离器和密闭盖板，其中，激光器通过所述载板互连线获得供电并连接到载板；激光器发射的光依次通过准直透镜、光隔离器、密闭盖板下部，以最佳入射角入射位于光子芯片表面下方的光栅；光隔离器出射的光线与光子芯片表面垂直，且所述光栅所在位置的截面与光子芯片表面垂直。本发明还提供一种制备基于混合集成的片上光源结构的制备方法。本发明能够实现片上光源集成，集成度高、损耗小、安装简单便捷，还可以通过光学密闭盖板灵活调整光路。