专利详情

专利名称	一种基于超表面窄带滤光的多光谱芯片及其制备方法
申请号	CN201611261268.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106847849A	公开（授权）日	2017.06.13
申请（专利权）人	中国科学院西安光学精密机械研究所	发明（设计）人	鱼卫星;杨靖忠;仝晓刚;胡炳樑
主分类号	H01L27/146(2006.01)I	IPC主分类号	H01L27/146(2006.01)I;H01L27/148(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I
专利有效期	一种基于超表面窄带滤光的多光谱芯片及其制备方法至一种基于超表面窄带滤光的多光谱芯片及其制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种基于超表面窄带滤光的多光谱芯片，包括面阵图像传感器和超表面结构滤光片阵列，所述超表面结构滤光片阵列包括两层纳米膜钝化层及位于两层纳米膜钝化层之间的金属纳米孔周期阵列结构；所述超表面结构滤光片阵列位于面阵图像传感器上；所述金属纳米孔周期阵列结构包括金属介质膜层，所述金属介质膜层上具有不同尺寸的周期性纳米孔阵列。本发明通过在同一厚度金属介质膜层上制备不同尺寸的周期性纳米结构阵列，实现对目标图像在多光谱谱段上的窄带滤光；本发明适用于更精细的图谱信息采集，在图像传感器表面制备金属纳米周期性结构，实现面阵多光谱芯片，在工艺上更易于实现，并具有广泛的适用性。