专利详情

专利名称	一种紫外探测器及其制备方法
申请号	CN201611237294.5	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106784061A	公开（授权）日	2017.05.31
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	刘可为;王潇;陈星;李炳辉;张振中;申德振
主分类号	H01L31/0236(2006.01)I	IPC主分类号	H01L31/0236(2006.01)I;H01L31/102(2006.01)I;H01L31/108(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;B82Y30/00(2011.01)I
专利有效期	一种紫外探测器及其制备方法至一种紫外探测器及其制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供了一种紫外探测器，包括：衬底；设置在所述衬底表面的ZnO薄膜，所述ZnO薄膜表面分布有Ag颗粒；设置在所述ZnO薄膜表面的两个电极。与现有技术相比，本发明提供的紫外光电探测器含有Ag颗粒修饰的ZnO薄膜，利用Ag颗粒进行修饰，能够使得到的探测器探测带窄、响应度高；同时Ag的引入带来的局域肖特基势垒和表面钝化作用降低了探测器件的暗电流和噪声区域的响应度。因此，本发明提供的紫外光探测器探测峰窄、响应度峰值高、背景噪音低；具有高度的波长选择性。