专利详情

专利名称	一种MAX相陶瓷涂层及其制备方法和制备装置
申请号	CN201610882869.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106567049A	公开（授权）日	2017.04.19
申请（专利权）人	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	发明（设计）人	黄峰;舒瑞;黄庆;李朋;孟凡平;葛芳芳;朱萍
主分类号	C23C14/35(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/35(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I
专利有效期	一种MAX相陶瓷涂层及其制备方法和制备装置至一种MAX相陶瓷涂层及其制备方法和制备装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种MAX相陶瓷涂层，此涂层组成为V₂Al_xC_2?x，x＝0.7～1.5，涂层为柱状晶生长结构，每一个柱状晶由一层Al原子层和两层V原子层交替排列形成，且C原子层位于两层V原子层之间，涂层密度为4.5～5.2g/cm³。本发明还公开了所述MAX相陶瓷涂层的制备方法，采用双靶磁控溅射法并辅助射频叠加中频的电源施加方式，在制备温度为550～650℃的情况下，在非晶基体上非外延生长出所述MAX相陶瓷涂层。该制备条件下获得的V₂Al_xC_2?x涂层纯度达到了99.9％，涂层硬度在13～16GPa。此方法一步合成，成本较低，可控制性强，有利于MAX相涂层低温制备和多领域应用。