专利详情

专利名称	一种牺牲模板法制备介观结构二氧化钛并应用于钙钛矿太阳能电池介孔层的方法
申请号	CN201610877387.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106531890A	公开（授权）日	2017.03.22
申请（专利权）人	中国科学院上海硅酸盐研究所	发明（设计）人	金平实;黄爱彬;李荣;周奕杰;包山虎
主分类号	H01L51/48(2006.01)I	IPC主分类号	H01L51/48(2006.01)I;H01L51/42(2006.01)I;C23C14/12(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I
专利有效期	一种牺牲模板法制备介观结构二氧化钛并应用于钙钛矿太阳能电池介孔层的方法至一种牺牲模板法制备介观结构二氧化钛并应用于钙钛矿太阳能电池介孔层的方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种牺牲模板法制备介观结构二氧化钛并应用于钙钛矿太阳能电池介孔层的方法，包括：以熔点200～400℃之间的长链有机物为原料粉体，采用真空蒸发法在基底表面沉积具有网络结构的长链有机物层，其中蒸发电流为26～40?A，沉积时间5～20分钟；以纯钛为靶材，以氩气和氧气为溅射气体，采用直流磁控溅射法在表面沉积有所述长链有机物层的基底上沉积得到二氧化钛纳米介孔层。本发明在所述长链有机物层表面沉积二氧化钛时，随着磁控溅射时产生的高能粒子轰击网络结构的长链有机物层而产生高温，导致牺牲模板的熔化，最终获得由互相独立且均匀分布的锐钛矿相二氧化钛纳米柱组成的二氧化钛纳米介孔层。