专利详情

专利名称	一种氢氟酸刻蚀毛细管制备石英针的方法
申请号	CN201510548168.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106486336A	公开（授权）日	2017.03.08
申请（专利权）人	中国科学院大连化学物理研究所	发明（设计）人	张丽华;朱旭东;蒋好;梁玉;杨开广;梁振;张玉奎
主分类号	H01J49/04(2006.01)I	IPC主分类号	H01J49/04(2006.01)I;H01J49/26(2006.01)I;G01N27/62(2006.01)I
专利有效期	一种氢氟酸刻蚀毛细管制备石英针的方法至一种氢氟酸刻蚀毛细管制备石英针的方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种新型氢氟酸刻蚀毛细管制备石英针的方法。具体地说是将毛细管欲刻蚀位置的聚合物涂层去除，然后将该毛细管固定于设计的装置(图1)，加入一定体积氢氟酸对毛细管进行刻蚀，直至毛细管刻蚀断裂。氢氟酸的挥发作用以及与石英表面的亲和作用，使石英毛细管刻蚀部位形成锥形面。该方法能够广泛应用于质谱电喷针、基因工程显微注射针等需要控制外径及锥面的石英材料的制备。