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一种用于晶体生长的新型加热装置

  • 申请号:CN201510536016.9
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院上海硅酸盐研究所;上海硅酸盐研究所中试基地
  • 公开(公开)号:CN106480493A
  • 公开(公开)日:2017.03.08
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 一种用于晶体生长的新型加热装置
申请号 CN201510536016.9 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN106480493A 公开(授权)日 2017.03.08
申请(专利权)人 中国科学院上海硅酸盐研究所;上海硅酸盐研究所中试基地 发明(设计)人 涂小牛;郑燕青;熊开南;孔海宽;施尔畏
主分类号 C30B11/00(2006.01)I IPC主分类号 C30B11/00(2006.01)I
专利有效期 一种用于晶体生长的新型加热装置 至一种用于晶体生长的新型加热装置 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 本发明涉及一种用于晶体生长的新型加热装置,从中心向外依次包括:坩埚、发热体、保温材料和感应线圈,其中,所述坩埚用于容纳生长晶体的熔体且不具备发热功能;所述发热体与所述坩埚相隔开,且接收所述感应线圈的信号来发热而作为晶体生长的热源。本发明不仅打破了以坩埚作为发热体只能依靠调节保温材料被动地来构筑温场的传统做法,可以通过调节发热体的形状和尺寸来主动构筑合适的温场;另外,还可以将感应加热的方式应用于布里奇曼法晶体生长中,拓宽了布里奇曼法的使用范围。

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