专利详情

专利名称	石墨托以及装有石墨托的晶体生长炉
申请号	CN201510418813.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106337204A	公开（授权）日	2017.01.18
申请（专利权）人	中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所	发明（设计）人	鞠涛;张立国;李哲;范亚明;张泽洪;张宝顺
主分类号	C30B29/36(2006.01)I	IPC主分类号	C30B29/36(2006.01)I;C30B25/12(2006.01)I;C30B23/02(2006.01)I
专利有效期	石墨托以及装有石墨托的晶体生长炉至石墨托以及装有石墨托的晶体生长炉	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种石墨托以及装有石墨托的晶体生长炉，所述石墨托为中部截面直径小于两端截面直径的回转体结构。所述晶体生长炉，包括：位于反应室内的石墨托，以及设置在所述反应室周向的加热装置，其特征在于，所述石墨托为中部截面直径小于两端截面直径的回转体，所述石墨托上部设有台面，所述加热装置的位置配合所述石墨托以对其进行加热。本发明设置的石墨托中部设有径向尺寸较小的中部，在石墨托外周设置的加热装置向石墨托进行振荡加热后，石墨托上部的台面能够获得较为均匀的热量，热量在台面上分布较为均匀，从而保证衬底上的温度较为均匀，为晶体外延生长过程中提供了均匀的温度环境，保证衬底上晶体外延生长均有较好的均匀性。