专利详情

专利名称	一种运动平台及光路安装调节的装置和方法
申请号	CN201610770533.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106291854A	公开（授权）日	2017.01.04
申请（专利权）人	中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心	发明（设计）人	陈鲁;张朝前;刘虹遥;杨乐;马砚忠;路鑫超
主分类号	G02B7/00(2006.01)I	IPC主分类号	G02B7/00(2006.01)I
专利有效期	一种运动平台及光路安装调节的装置和方法至一种运动平台及光路安装调节的装置和方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明属于光学技术领域，公开了一种运动平台及光路安装调节的装置和方法，其中，装置包括：基准器件、运动平台、调节件、螺纹副、固定件、第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜；方法为：固定基准器件；在基准器件的下方放置运动平台；通过样品台沿旋转轴和直线轴的运动，结合样品台上的特征点在CCD中的成像，以基准点为参照物进行判断，通过调节螺纹副推进调节件，实现对运动平台安装位置的调节；通过样品台沿Z轴方向上下移动，结合入射光束在CCD中的成像，以基准点为参照物进行判断，通过调节反射镜实现对光路进行调节。本发明实现了运动平台及光路安装位置的精细调节。