专利详情

专利名称	一种光学表面污染检测清洁装置
申请号	CN201610633727.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106269593A	公开（授权）日	2017.01.04
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	苗二龙;方斌;武东城;彭石军;隋永新;杨怀江
主分类号	B08B1/00(2006.01)I	IPC主分类号	B08B1/00(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I;G01N21/88(2006.01)I;G01N21/94(2006.01)I
专利有效期	一种光学表面污染检测清洁装置至一种光学表面污染检测清洁装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及光学表面检测技术领域，具体公开一种光学表面污染检测清洁装置。本发明的光学表面污染检测清洁装置包括恒温箱体；恒温箱体内装有洁净水；恒温箱体的一侧连接有喷嘴，恒温箱体的另一侧安装有风扇；风扇用于向恒温箱体内送风，使恒温箱体内保持一定的空气正压。本发明的清洁装置可以让温暖湿润的空气接触到光学表面后在光学表面凝结成雾状微小水珠，一方面使得光学表面的污染部分肉眼可检测，另一方面可通过干净的棉布与形成凝结的洁净水去除表面抛光粉等水溶性污染物，对于高精度光学元件表面的清洁具有更好的效果。