专利详情

专利名称	一种可在线测量能量的极紫外辐照损伤测试系统
申请号	CN201610548432.5	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106248564A	公开（授权）日	2016.12.21
申请（专利权）人	中国科学院光电研究院	发明（设计）人	谢婉露;吴晓斌;陈进新;王魁波;张罗莎;罗艳;周翊;王宇;崔惠绒
主分类号	G01N17/00(2006.01)I	IPC主分类号	G01N17/00(2006.01)I
专利有效期	一种可在线测量能量的极紫外辐照损伤测试系统至一种可在线测量能量的极紫外辐照损伤测试系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种极紫外辐照损伤测试系统，包括光源腔室、收集镜腔室和测量腔室，收集镜腔室与测量腔室之间装有快门，快门可通过开/关状态的切换来改变光束的后续传播；测试腔室容纳有样品调节台、能量校准单元和辐照能量在线测试单元，样品调节台用于装载辐照损伤测试样品，辐照能量在线测试单元设置在快门与样品调节台之间的光路上，用于测试辐照在样品表面的能量，能量校准单元设置于在线测试单元与样品调节台之间的光路上，用于校准辐照能量在线测试单元。本发明的系统可在辐照损伤测试过程中实时测试辐照能量，提高辐照损伤测试结果的准确性和可靠性，且结构简单，安装方便，容易操作。