专利详情

专利名称	一种凸非球面镜面形检测系统及检测方法
申请号	CN201511017672.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106247973A	公开（授权）日	2016.12.21
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	马冬梅;张海涛;于杰
主分类号	G01B11/24(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/24(2006.01)I
专利有效期	一种凸非球面镜面形检测系统及检测方法至一种凸非球面镜面形检测系统及检测方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及光学检测技术领域，特别涉及凸非球面镜面形检测系统，点衍射干涉装置产生衍射光，并与被测凸非球面镜的反射光进行干涉；基准凹球面镜将衍射光反射至被测凸非球面镜，并将被测凸非球面镜的反射光反射至点衍射干涉装置；基准凹球面镜调整机构调整基准凹球面镜的位置；被测凸非球面镜调整机构调整被测凸非球面镜沿光轴方向移动；图像处理装置根据干涉图像及基准凹面镜的面形误差进行计算，获取被测凸非球面镜的面形信息；控制装置控制基准凹球面镜调整机构调整基准凹球面镜位置及被测凸非球面镜调整机构调整被测凸非球面镜位置。本发明还包括凸非球面镜面形检测方法.本发明设置点衍射干涉仪、基准凹面镜及调整机构，达到了准确测试凸非球面镜面形的有益效果。