专利详情

专利名称	一种高精度大量程实时单点离面位移的测量方法
申请号	CN201610704114.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106197259A	公开（授权）日	2016.12.07
申请（专利权）人	中国科学技术大学	发明（设计）人	缪泓;熊宸;张明;胡文欣
主分类号	G01B9/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01B9/02(2006.01)I
专利有效期	一种高精度大量程实时单点离面位移的测量方法至一种高精度大量程实时单点离面位移的测量方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提出了一种高精度大量程实时单点离面位移的测量方法，该方法以图像处理的方式获取位移的方向和大小，并利用硬件设备对位移进行实时跟踪补偿的方式来实现测量。在本发明中，所述测量方法是基于双光束干涉原理，测量过程是将从参考端和物端干涉形成的图样以图像形式记录在测量系统中，然后通过图像处理技术将位移信息反馈给参考端的精密促动装置，从而达到参考端实时跟踪发生在物端的位移的目标。在图像处理中，基于图像重心和直方图相关的处理算法分别用于判断位移的方向和大小；跟踪过程是通过逐步逼近的方式来实现，当提前标定促动器位移与电压的关系后，可以通过电压值实时计算出位移量。