专利详情

专利名称	薄膜晶体管及制备方法和交互式显示装置
申请号	CN201610670245.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106206681A	公开（授权）日	2016.12.07
申请（专利权）人	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	发明（设计）人	梁凌燕;谢玉芳;曹鸿涛
主分类号	H01L29/12(2006.01)I	IPC主分类号	H01L29/12(2006.01)I;H01L29/423(2006.01)I;H01L29/66(2006.01)I;H01L29/786(2006.01)I
专利有效期	薄膜晶体管及制备方法和交互式显示装置至薄膜晶体管及制备方法和交互式显示装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种薄膜晶体管及制备方法和交互式显示装置，其中，薄膜晶体管包括衬底、栅电极层、栅介质层、沟道层、源电极层和漏电极层；其中，沟道层为锌锡氮氧薄膜；锌锡氮氧薄膜的化学式为：Zn_aSn_bN_yO_z。其通过采用化学式为Zn_aSn_bN_yO_z的锌锡氮氧薄膜作为沟道层，相较于传统的铟镓锌氧薄膜晶体管来说，锌锡氮氧薄膜中的元素不包含稀有元素，这就使得薄膜晶体管的生产成本能够大大降低。并且，由于锌锡氮氧薄膜具有较高的迁移率和较窄的带隙，开启速度快且能对包括可见光波长范围内光子具有较高的光响应电流，因此其可以同时作为交互式显示装置的显示单元和光传感单元的核心元件。