专利详情

专利名称	一种具有金刚石涂层的硬质合金件及其制备方法
申请号	CN201610626731.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106191807A	公开（授权）日	2016.12.07
申请（专利权）人	中国科学院深圳先进技术研究院	发明（设计）人	唐永炳;王陶;张文军
主分类号	C23C16/27(2006.01)I	IPC主分类号	C23C16/27(2006.01)I;C23C16/32(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I;C23C28/04(2006.01)I
专利有效期	一种具有金刚石涂层的硬质合金件及其制备方法至一种具有金刚石涂层的硬质合金件及其制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供了一种具有金刚石涂层的硬质合金件，包括硬质合金基体，以及依次设置于所述基体上的碳化硅层、碳化硅?金刚石梯度复合涂层和金刚石涂层，所述碳化硅?金刚石梯度复合涂层中，沿厚度方向由所述碳化硅层向所述金刚石涂层，碳化硅含量逐渐减少而金刚石含量逐渐增加。本发明通过在硬质合金基体上先沉积碳化硅层和碳化硅?金刚石梯度复合涂层作为中间层，再沉积金刚石涂层，使得基体表面的整个涂层从基体到顶层不仅成分呈梯度变化，无新界面的增加，而且热膨胀系数呈梯度变化，从而有效降低金刚石薄膜中的热应力，提高薄膜结合力。本发明还提供了该具有金刚石涂层的硬质合金件的制备方法。