专利详情

专利名称	一种双金属/陶瓷复合薄膜及其制备方法
申请号	CN201610671229.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106167892A	公开（授权）日	2016.11.30
申请（专利权）人	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	发明（设计）人	高俊华;曹鸿涛;王小雨
主分类号	C23C14/35(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/35(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I
专利有效期	一种双金属/陶瓷复合薄膜及其制备方法至一种双金属/陶瓷复合薄膜及其制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种双金属/陶瓷复合薄膜，由双金属粒子和陶瓷相组成，双金属粒子嵌入到陶瓷相中，形成双金属/陶瓷复合层；所述的双金属粒子为WAl或WTi，其中，基体元素为W，掺杂元素为Al或Ti；所述的陶瓷相为氧化铝或二氧化硅；本发明还公开了该双金属合金陶瓷薄膜的制备方法，通过多靶磁控共溅射的技术来实施，其制备工艺简单，所获得的双金属陶瓷薄膜在紫外、可见光和近红外区域具有强的太阳光谱吸收特性，并具备优异的热稳定性，适用于温度高于550℃下金属纳米粒子的光吸收应用领域。