一种涂胶装置
- 申请号:CN201610565195.3
- 专利类型:发明专利
- 申请(专利权)人:中国科学院微电子研究所
- 公开(公开)号:CN106000776A
- 公开(公开)日:2016.10.12
- 法律状态:实质审查的生效
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专利详情
专利名称 | 一种涂胶装置 | ||
申请号 | CN201610565195.3 | 专利类型 | 发明专利 |
公开(公告)号 | CN106000776A | 公开(授权)日 | 2016.10.12 |
申请(专利权)人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明(设计)人 | 薛海韵;曹立强;宋崇申;张文奇 |
主分类号 | B05C5/02(2006.01)I | IPC主分类号 | B05C5/02(2006.01)I;B05C13/02(2006.01)I;B05C11/10(2006.01)I |
专利有效期 | 一种涂胶装置 至一种涂胶装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
说明书摘要 | 本发明公开了一种涂胶装置,该装置包括载台、吸附于载台之上的晶圆,以及晶圆上方的胶体注入管路,胶体注入管路具有一喷头,该喷头正对晶圆表面,该装置还包括:一圆形托盘,设置于晶圆上方,在涂胶时该圆形托盘与晶圆一起夹住旋涂于晶圆表面的胶体,使胶体不会朝某个方向流出,并能得到较厚的胶膜。对于需要将粘度较小的胶涂布成较厚的膜时,本发明提供的这种涂胶装置,圆形托盘与晶圆可以一起先将胶体夹住一段时间,等胶体粘度增大到某个点时,再进行旋涂,进而能够得到较厚的胶膜。 |
交易流程
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