
一种双光纤点衍射全视场低频外差干涉仪
- 申请号:CN201610237366.X
- 专利类型:发明专利
- 申请(专利权)人:中国科学院光电研究院
- 公开(公开)号:CN105928454A
- 公开(公开)日:2016.09.07
- 法律状态:实质审查的生效
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专利详情
专利名称 | 一种双光纤点衍射全视场低频外差干涉仪 | ||
申请号 | CN201610237366.X | 专利类型 | 发明专利 |
公开(公告)号 | CN105928454A | 公开(授权)日 | 2016.09.07 |
申请(专利权)人 | 中国科学院光电研究院 | 发明(设计)人 | 李杨;张文喜;相里斌;伍洲;孔新新;吕笑宇;刘志刚;郭晓丽 |
主分类号 | G01B9/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B9/02(2006.01)I |
专利有效期 | 一种双光纤点衍射全视场低频外差干涉仪 至一种双光纤点衍射全视场低频外差干涉仪 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
说明书摘要 | 本发明公开了一种双光纤点衍射全视场低频外差干涉仪,其采用声光移频器外差干涉移相,有效避免干涉仪存在运动件,测量精度进一步提高,抗干扰性好,且研制难度与成本可以降低;尤其对于大口径面形的测量,相比机械驱动同样的优势更明显;同时,采用了双光纤插芯的方案,用两束点衍射光分别作为参考光与测量光,增大了光纤点衍射干涉仪的可测量镜面相对孔径。 |
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