专利详情

专利名称	光学元件支撑组件及光学元件检测装置
申请号	CN201611047849.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106441819A	公开（授权）日	2017.02.22
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	倪明阳;杨怀江;隋永新;彭海峰;李显凌
主分类号	G01M11/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01M11/02(2006.01)I
专利有效期	光学元件支撑组件及光学元件检测装置至光学元件支撑组件及光学元件检测装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种光学元件支撑组件及一种光学元件的检测装置。本发明提供的光学元件支撑组件包括：密封环，用于安装光学元件；底座，用于固定所述密封环；流体通入管，所述流体通入管与所述底座相连；流体流出管，所述流体流出管与所述底座相连，且所述流体流出管与所述流体通入管交错设置。本发明采用气浮方式支撑待检测光学元件使得光学元件在被检测时通过精确的压力调节使底部受力均匀，实现均匀分布的受力平衡，使光学元件几乎不变形；与不同形状的光学元件都可以匹配；可以有效降低重力对光学元件面型的影响。