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一种光斑质心提取精度的测量装置及测量方法

  • 申请号:CN201610561943.0
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院上海技术物理研究所
  • 公开(公开)号:CN106209221A
  • 公开(公开)日:2016.12.07
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 一种光斑质心提取精度的测量装置及测量方法
申请号 CN201610561943.0 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN106209221A 公开(授权)日 2016.12.07
申请(专利权)人 中国科学院上海技术物理研究所 发明(设计)人 陈少杰;王建宇;张亮;舒嵘;贾建军
主分类号 H04B10/073(2013.01)I IPC主分类号 H04B10/073(2013.01)I
专利有效期 一种光斑质心提取精度的测量装置及测量方法 至一种光斑质心提取精度的测量装置及测量方法 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 本发明公开了一种光斑质心提取精度的测量装置及方法。该装置采用位移高频调制的方法,由激光器、压电陶瓷驱动器驱动的快速反射镜、平行光管等模拟产生远距离的高频率小幅度的光源位移,而光源位移幅值和频率是事先设置好的,再由光斑质心提取系统对其探测,探测所得的数据由工作计算机进行处理即可获得待测光斑质心的提取精度。本发明能有效地抑制测量平台的抖动对光斑质心提取精度测量的干扰,且简便易行。

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