专利详情

专利名称	一种基于铁镍多元合金磁芯的微型薄膜电感
申请号	CN201510061511.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN105990321A	公开（授权）日	2016.10.05
申请（专利权）人	中国科学院金属研究所	发明（设计）人	刘志权;高丽茵
主分类号	H01L23/64(2006.01)I	IPC主分类号	H01L23/64(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I;H01F37/00(2006.01)I;H01F27/24(2006.01)I
专利有效期	一种基于铁镍多元合金磁芯的微型薄膜电感至一种基于铁镍多元合金磁芯的微型薄膜电感	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种基于铁镍多元合金磁芯的微型薄膜电感，属于微电感器件技术领域。该电感包括薄膜磁芯和线圈，所述薄膜磁芯为铁镍多元合金薄膜，其中：所述薄膜磁芯作为线圈的内芯，即线圈螺旋缠绕于薄膜磁芯之外；或者，所述薄膜磁芯作为外芯，即线圈包裹于薄膜磁芯之内。本发明通过调整磁芯材料铁、镍、磷、稀土多元合金的成分与制备工艺，可实现各向异性、矫顽力小、电阻率高、磁感应强度高的性能，从而使电感器的损耗减少、工作频率和品质因子提高，在微电子器件领域有良好的适用性。