专利详情

专利名称	一种室温纳米线光子数可分辨探测器
申请号	CN201820160569.8	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN207967011U	公开（授权）日	2018.10.12
申请（专利权）人	中国科学院上海技术物理研究所	发明（设计）人	胡伟达;骆文锦;王鹏;龙明生;陈效双;陆卫
主分类号	H01L31/0352(2006.01)I	IPC主分类号	H01L31/0352(2006.01)I;H01L31/113(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I
专利有效期	一种室温纳米线光子数可分辨探测器至一种室温纳米线光子数可分辨探测器	法律状态
说明书摘要	本专利公开了一种室温纳米线光子数可分辨探测器。器件结构自下而上依次为是衬底、氧化物层、纳米线半导体和金属源漏电极。器件制备步骤是将CVD生长的具有丰富表面态纳米线转移到衬底上，运用紫外光刻或电子束光刻的方法结合传统剥离工艺制备金属电极作为源极和漏极，形成纳米线半导体场效应晶体管结构。器件首先需要在源极和栅极间施加负向栅压，使得场效应晶体管达到跨导最大处，通过纳米线的丰富表面态可以长时间俘获光生空穴，形成光栅效应，使得电流信号发生跳变，进而实现可分辨光子数探测。该光子探测器具有室温工作、光子数可分辨、高灵敏、响应快、稳定性好及低功耗等特点。