专利详情

专利名称	大口径宽光谱范围F-P可调谐滤波器的高精密装配系统
申请号	CN201820155328.4	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN207965381U	公开（授权）日	2018.10.12
申请（专利权）人	中国科学院上海技术物理研究所	发明（设计）人	丛蕊;刘定权;蔡清元;陈刚;周晟;蒋林
主分类号	G02B27/62(2006.01)I	IPC主分类号	G02B27/62(2006.01)I;G01J3/26(2006.01)I
专利有效期	大口径宽光谱范围F-P可调谐滤波器的高精密装配系统至大口径宽光谱范围F-P可调谐滤波器的高精密装配系统	法律状态
说明书摘要	本专利公开了一种大口径宽光谱范围F?P可调谐滤波器的高精密装配系统，该装配系统主要由定镜安装模块、动镜安装模块、压电惯性驱动器、三维微位移平台和二维电动位移台组成，采用粗调、微调和精调三重调节机构调节对F?P腔的初始腔长和反射镜面间平行度进行精确设定，腔长调节分辨率可以达到10nm量级，腔内两反射镜面间平行度可以达到10?1μrad量级。该高精密装配系统位移定位精度高，平行度调节能力强，能够确保大口径宽光谱范围F?P可调谐滤波器的F?P腔的初始腔长和反射镜面间平行度满足高光谱遥感应用要求。