专利详情

专利名称	光学窗口组件漏率检测装置及检测方法
申请号	CN201610595828.5	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106124134A	公开（授权）日	2016.11.16
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	徐明林;徐振;徐伟;解鹏;王天聪;曲宏松
主分类号	G01M3/20(2006.01)I	IPC主分类号	G01M3/20(2006.01)I
专利有效期	光学窗口组件漏率检测装置及检测方法至光学窗口组件漏率检测装置及检测方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	光学窗口组件漏率检测装置及检测方法，涉及光学窗口组件检测技术领域，解决现有光学窗口组件漏率检测技术耗时费力且无法确定光学窗口组件自身漏率等问题，包括氦质谱检漏仪、第一快接法兰、手动真空挡板阀、波纹管、He气注射喷枪、底座、密闭容器和He标准漏孔；光学窗口组件与底座连接并置于密闭容器内，且光学窗口组件与底座之间设置有O型密封圈；氦质谱检漏仪的出口处设置手动真空挡板阀；波纹管的两端分别通过第一快接法兰与手动真空挡板阀和底座连接，He标准漏孔通过第二快接法兰与底座连接，He标准漏孔设置有球阀，用于控制He标准漏孔的开放与关闭；He气注射枪向密闭容器内注射氦气。本装置结构简单、操作方便。