专利详情

专利名称	一种用于高温气氛环境下粉体材料制备的化学气相沉积反应装置
申请号	CN201721718685.9	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN207918948U	公开（授权）日	2018.09.28
申请（专利权）人	中国科学院金属研究所	发明（设计）人	任文才;马超群;成会明
主分类号	C23C16/44(2006.01)I	IPC主分类号	C23C16/44(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I
专利有效期	一种用于高温气氛环境下粉体材料制备的化学气相沉积反应装置至一种用于高温气氛环境下粉体材料制备的化学气相沉积反应装置	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种用于高温气氛环境下粉体材料制备的化学气相沉积反应装置，属于粉体材料生产技术领域。该装置包括加热炉体、耐高温陶瓷炉管和内衬反应器；所述内衬反应器置于耐高温陶瓷炉管内部，所述加热炉体用于对耐高温陶瓷炉管和内衬反应器进行加热；所述内衬反应器为具有中空反应腔的圆柱状结构，所述中空反应腔为两端细中间粗的结构；所述中空反应腔内设有沟槽和/或翻料挡板结构。该反应装置可以在高温环境下实现对反应粉体的翻转搅拌，避免了常规CVD装置在反应过程中由于气氛条件不均造成的粉体分层、板结等问题。同时因为设计了分体式内衬反应器和快速装卸法兰，可实现连续装卸物料以及物料快速冷却。