专利详情

专利名称	双通孔结构的微型热电能量采集器及其制备方法
申请号	CN201510532111.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106486593A	公开（授权）日	2017.03.08
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	徐德辉;吴利青;熊斌
主分类号	H01L35/32(2006.01)I	IPC主分类号	H01L35/32(2006.01)I;H01L35/04(2006.01)I;H01L35/34(2006.01)I
专利有效期	双通孔结构的微型热电能量采集器及其制备方法至双通孔结构的微型热电能量采集器及其制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种双通孔结构的微型热电能量采集器及其制备方法，所述采集器的制作过程中采用双通孔结构，即：环形沟槽和通孔。再在双通孔结构中分别填充第一热电层和第二热电层，形成热电偶对，并通过顶部电连接层实现热电偶对之间的串联，得到热电偶阵列，即微型热电能量采集器。本发明的热电能量采集器与传统平面结构的采集器相比，其双通孔结构热电偶臂端面与导热板之间具有较大的接触面积，可以降低接触热阻和接触电阻，提高器件的温差利用率和发电功率；同时，相比垂直结构分立的热电偶臂阵列，这种双通孔结构可以进一步提高器件的集成度。