专利详情

专利名称	高速量子级联红外探测器及其制作方法
申请号	CN201610893732.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106252421A	公开（授权）日	2016.12.21
申请（专利权）人	中国科学院半导体研究所	发明（设计）人	周予虹;翟慎强;梁平;刘俊岐;刘峰奇;王占国
主分类号	H01L31/02(2006.01)I	IPC主分类号	H01L31/02(2006.01)I;H01L31/0352(2006.01)I;H01L31/0224(2006.01)I;H01L31/101(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I
专利有效期	高速量子级联红外探测器及其制作方法至高速量子级联红外探测器及其制作方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种高速量子级联红外探测器的制作方法，其中所述高速量子级联红外探测器，包括：一衬底，该衬底为矩形，其一端向下为一斜面；一CPW地电极层，其制作在衬底上，该CPW地电极层开有一喇叭形的开口；一CPW信号电极层，其制作在衬底上面，并位于CPW地电极层上的喇叭形开口的中间，该CPW信号电极层为锥形；一下接触电极层，其制作在CPW地电极层上的喇叭形开口的端部，与衬底和CPW地电极层接触；一周期性量子阱垒层，其制作在下接触电极层上面的中间；一上接触电极层，其制作在周期性量子阱垒层上；一空气桥连接结构，其一端连接CPW信号电极层，另一端连接上接触电极层。