专利详情

专利名称	PSD2干涉检测中局部采点的控制方法
申请号	CN201610533855.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106168463A	公开（授权）日	2016.11.30
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	嵇文超;周游;顿爱欢;徐学科;刘世杰;吴福林
主分类号	G01B11/00(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/00(2006.01)I
专利有效期	PSD2干涉检测中局部采点的控制方法至PSD2干涉检测中局部采点的控制方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种PSD2干涉检测中局部采点的控制方法，包括：步骤1：工作平台回机械原点，步骤2：计算机械坐标系与工件坐标系之间的偏差，步骤3：对已知的玻璃尺寸以及检测阵列数，计算每点的绝对坐标，并且控制其按来回扫描的栅线型方式运动，步骤4：每次采点到达位置后，光栅尺位置与轨迹坐标做对比实现全闭环，步骤5：结束测量，安全锁紧，清零脉冲计数器并且退出程序。本发明提供的方法实现了对玻璃表面进行自动均匀采点的PSD2面形检测，能够自动定量规划路径，大大提高了测量效率，重复采样测量得到了保证。