专利详情

专利名称	一种具有自修复能力的耐腐蚀涂层及其制备方法
申请号	CN201610551827.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106048529A	公开（授权）日	2016.10.26
申请（专利权）人	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	发明（设计）人	黄峰;李朋;葛芳芳;徐相英
主分类号	C23C14/08(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/08(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I
专利有效期	一种具有自修复能力的耐腐蚀涂层及其制备方法至一种具有自修复能力的耐腐蚀涂层及其制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种具有自修复能力的耐腐蚀涂层，所述涂层由晶态Al和非晶态Al₂O₃两相复合而成，其成分表示为Al_1?xO_x，x＝0.25～0.62，其中x为原子比率，所述涂层密度为3.0～3.4g/cm³。还公开了一种具有自修复能力的耐腐蚀涂层的制备方法，包括：(1)基体清洗；(2)涂层沉积：将清洗后的基体装入真空室中，当腔室真空度为1×10^?5～5×10^?5Pa时，通入氩气和氧气，氩气和氧气的流量比为2:1，控制溅射气压为0.25～0.4Pa，调整靶材的溅射功率密度为7.0～9.5W/cm²，接着逐渐通入氧气，当靶电压达到最低值时，开启样品挡板，对基体的表面进行沉积，得到具有自修复能力的耐腐蚀涂层。本发明制备的涂层利用Al的腐蚀产物来充当修复元，修复涂层后期受力过程中产生的贯穿性孔隙，提高涂层的耐腐行为。