专利详情

专利名称	一种带防液滴喷溅隔板的热蒸发装置
申请号	CN201721736339.3	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN207877846U	公开（授权）日	2018.09.18
申请（专利权）人	深圳先进技术研究院	发明（设计）人	张撷秋;刘壮;杨世航;钟国华;黄俏俏;崔骏;李霖
主分类号	C23C14/24(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/24(2006.01)I
专利有效期	一种带防液滴喷溅隔板的热蒸发装置至一种带防液滴喷溅隔板的热蒸发装置	法律状态
说明书摘要	一种带防液滴喷溅隔板的热蒸发装置，包括：蒸发材料；坩埚，所述坩埚容纳待加热的所述蒸发材料；喷管，所述喷管与坩埚的顶端端口相通；至少两个隔板，所述隔板为板状结构，且通过去除材料形成允许蒸汽通过的通孔；所述不同隔板沿竖直方向间隔放置在坩埚内壁，且位于蒸发材料上方，所述不同隔板的通孔在水平面的投影不发生重叠。在热蒸发镀膜工艺中，多个具有通孔的隔板可顺利通过蒸气，但由于每个隔板在水平方向的投影不重叠，因而阻挡大部分喷溅液滴，有效减少喷溅液滴到达镀膜表面，提高镀膜材料的厚度均匀性和化学组分一致性，提高镀膜工艺的良品率。