专利详情

专利名称	一种具有网栅导热件的热蒸发坩埚组件
申请号	CN201721743779.1	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN207845760U	公开（授权）日	2018.09.11
申请（专利权）人	深圳先进技术研究院	发明（设计）人	刘壮;杨世航;张撷秋
主分类号	C23C14/26(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/26(2006.01)I
专利有效期	一种具有网栅导热件的热蒸发坩埚组件至一种具有网栅导热件的热蒸发坩埚组件	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种具有网栅导热件的热蒸发坩埚组件，包括坩埚及设于坩埚内用于导热的网栅导热件，网栅导热件包括具有多孔结构的导热网栅和设于导热网栅外围一周的侧导热件，侧导热件的外壁紧贴坩埚的内壁以进行热量传递，导热网栅上的多孔用于导出坩埚内产生的蒸发原料气体。本实用新型一种具有网栅导热件的热蒸发坩埚组件，其中网栅导热件在热蒸发镀膜工艺中起到匀热，导热作用。通过热蒸发三维导热网栅结构将蒸发原料内部、临近液面处、接近坩埚内壁处连接起来，形成多个小的子蒸发区域。由于三维导热网栅结构的联通性，使得临近加热源的坩埚壁、底部的热量可以快速传导到坩埚内部和临近液面处，促进在非平衡态下的温度场均匀性。