专利详情

专利名称	一种高效稳定的电弧等离子体源
申请号	CN201721855171.8	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN207820298U	公开（授权）日	2018.09.04
申请（专利权）人	中国科学技术大学	发明（设计）人	孙玄;易洪深;刘明
主分类号	H05H1/34(2006.01)I	IPC主分类号	H05H1/34(2006.01)I
专利有效期	一种高效稳定的电弧等离子体源至一种高效稳定的电弧等离子体源	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种高效稳定的电弧等离子体源，包括阳极、阳极铜环电极、内部陶瓷筒、中间陶瓷筒、外部陶瓷筒、阴极、阴极铜环电极、钼注气管、阴极陶瓷盖、引入电极中间绝缘、陶瓷垫圈、能量引入压线铜鼻、陶瓷绝缘盒、阳极陶瓷盖和钼垫圈；阴极和阳极共轴装配，阴极和阳极之间用陶瓷垫圈和钼垫圈交替叠填充，内部陶瓷筒套在垫圈外部，内部陶瓷筒两端分别嵌入阴极和阳极的凹槽内，内部陶瓷筒外再套上中间陶瓷筒，中间陶瓷筒的两端与阴极和阳极的内部端面相接，开有装配孔的外部陶瓷筒套在中间陶瓷筒外。本实用新型只需要脉冲注气，减小等离子体中的中性工作质气体，减少工作质气体使用量，在真空下使用时有利于提高等离子体的参数。