专利详情

专利名称	光学元件六自由度定位调节装置、投影物镜及光刻机
申请号	CN201710519545.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN107145041A	公开（授权）日	2017.09.08
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	张德福;李显凌;倪明阳;隋永新;杨怀江
主分类号	G03F7/20(2006.01)I	IPC主分类号	G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	光学元件六自由度定位调节装置、投影物镜及光刻机至光学元件六自由度定位调节装置、投影物镜及光刻机	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供的光学元件六自由度定位调节装置，包括镜筒、三组用于进行双自由度调节的调节支链及用于承载光学元件的支撑镜框，所述支撑镜框的下表面分别与所述调节支链的上部输出端连接，所述调节支链的下端安装面与所述镜筒的上表面固定连接,在每个调节支链的带动下，所述镜框可产生两个自由度的位移，所述镜框带动所述光学元件实现六自由度精密位移调节，通过控制六个驱动器的进给量，实现光学元件六个自由度的移动和转动位移量调节，具有实时位移调节能力，可以满足光刻物镜装调和维护时的六自由度位移精密调节需求，本发明还提供了具有上述光学元件六自由度定位调节装置的投影物镜和光刻机。