专利详情

专利名称	单行载流子光探测器结构及其制作方法
申请号	CN201611059090.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106784132A	公开（授权）日	2017.05.31
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	姚辰;张戎;曹俊诚
主分类号	H01L31/18(2006.01)I	IPC主分类号	H01L31/18(2006.01)I;H01L31/102(2006.01)I;H01L31/109(2006.01)I;H01L31/0352(2006.01)I
专利有效期	单行载流子光探测器结构及其制作方法至单行载流子光探测器结构及其制作方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种单行载流子光探测器结构及其制作方法，利用分步腐蚀的方法，制作出收集层面积比吸收层面积小的光探测器结构，使得器件电容大大减小，在相同吸收层厚度条件下，提高了器件的RC响应带宽，进而提高了器件的总带宽；在相同收集层面积及相同吸收层厚度的条件下(RC带宽、渡越带宽相同)，器件具有更大的吸收层面积，因而具有更大的响应度，可以在更高入射光功率下工作，在高速高功率应用中性能提升更为明显，适用于太赫兹信号产生、高速光通信中的光接收等领域。