专利详情

专利名称	一种光纤探针及其制备方法
申请号	CN201510102095.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106033092A	公开（授权）日	2016.10.19
申请（专利权）人	中国科学院物理研究所	发明（设计）人	李家方;李无瑕;牟佳佳;顾长志;李志远
主分类号	G01Q60/22(2010.01)I	IPC主分类号	G01Q60/22(2010.01)I
专利有效期	一种光纤探针及其制备方法至一种光纤探针及其制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种光纤探针，包括具有光滑平整的光纤端面的光纤，制作在光纤端面上的连接平台，以及制作在连接平台上的锥形结构；连接平台中心具有与光纤芯适配的通光孔，连接平台的侧壁上设置有导流孔，所述锥形结构内部中空，且其底部开口与所述连接平台的通光孔适配，所述锥形结构的表面具有波纹。本发明还提供了相应的光纤探针的制备方法，包括：1)在光纤端面均匀地布置光刻胶；2)用三维激光直写设备对光刻胶进行曝光，得到所述连接平台和所述锥形结构的形状的曝光区；3)对光刻胶进行显影和定影，将内部未曝光区域的光刻胶通过导流孔排出。本发明同时具有高空间分辨率和高通光效率；不需要在探针附近配备外部光场激发系统，集成度高。