专利详情

专利名称	一种分压漏率测量装置及方法
申请号	CN201610473484.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106017819A	公开（授权）日	2016.10.12
申请（专利权）人	中国科学院光电研究院	发明（设计）人	王魁波;张罗莎;吴晓斌;罗艳;陈进新;谢婉露;王宇
主分类号	G01M3/20(2006.01)I	IPC主分类号	G01M3/20(2006.01)I
专利有效期	一种分压漏率测量装置及方法至一种分压漏率测量装置及方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种真空密封件分压漏率测量装置及真空密封件分压漏率测量方法，用于测量真空密封件漏气组分及各组分的分压漏率。该装置包括第一真空规(1)、质谱计(2)、标准漏孔(3)、截止阀(4)、真空室(5)、插板阀(6)、角阀(7)、限流小孔(8)、抽气泵组(9)、第二真空规(10)、电磁阀(11)、抽气泵组(12)、截止阀(13)、气瓶(14)以及真空密封件(15)。该方法包括：(1)测量氦气本底离子流I_O和本底气体组分分压P_i，bg；(2)测量标准漏孔氦气离子流I_s；(3)测量真空密封件氦气离子流I_L和漏气组分分压P_i，L；(4)计算真空密封件分压漏率Q_i，L和总漏率Q_L。