专利详情

专利名称	一种透明聚合物表面的透明疏水耐磨类金刚石薄膜的制备方法
申请号	CN201610182631.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN105861990A	公开（授权）日	2016.08.17
申请（专利权）人	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	发明（设计）人	孙丽丽;汪爱英;郭鹏;张栋;李晓伟;柯培玲
主分类号	C23C14/22(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/22(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/02(2006.01)I;C08J7/12(2006.01)I;C08L67/02(2006.01)N
专利有效期	一种透明聚合物表面的透明疏水耐磨类金刚石薄膜的制备方法至一种透明聚合物表面的透明疏水耐磨类金刚石薄膜的制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种透明聚合物表面的透明疏水耐磨类金刚石薄膜的制备方法。该方法首先对透明聚合物表面进行等离子体刻蚀处理；然后采用线性离子束沉积法，通入碳源气体沉积类金刚石薄膜，在类金刚石薄膜沉积过程中通入Ar气体，使薄膜沉积和气体刻蚀同时进行。利用该方法制得的类金刚石薄膜在保持良好的耐磨性与透光性的同时，还具有疏水特性，实现了兼具耐磨、透明与疏水于一体的类金刚石薄膜，具有良好的应用前景。