专利详情

专利名称	导热结构及加热蒸发组件
申请号	CN201721751082.9	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN207760417U	公开（授权）日	2018.08.24
申请（专利权）人	深圳先进技术研究院	发明（设计）人	刘壮;张撷秋;杨世航;黄俏俏
主分类号	C23C14/26(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/26(2006.01)I
专利有效期	导热结构及加热蒸发组件至导热结构及加热蒸发组件	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种导热结构，包括若干根导热管，每根所述导热管为内部中空且具有开口的管状体，所述若干根导热管的外壁相互贴合固定，并且贴合在一起的所述若干根导热管的径向方向的截面形状呈格栅形状。本实用新型还提供了一种加热蒸发组件，包括坩埚和上述的导热结构，所述导热结构的形状尺寸与所述坩埚匹配，所述导热结构设置于所述坩埚内，且所述导热结构最外围的所述导热管的外壁与所述坩埚的内壁接触。本实用新型所提供的一种导热结构及加热蒸发组件，利用多根导热管组成导热结构，形成多个子蒸发体，可减少子蒸发体之间的干扰，还可将临近加热源的坩埚壁热量快速传导坩埚内部，促进在非平衡态下的温度场均匀性。