专利详情

专利名称	沉积金刚石涂层的装置
申请号	CN201721839690.5	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN207775347U	公开（授权）日	2018.08.28
申请（专利权）人	深圳先进技术研究院	发明（设计）人	唐永炳;黄磊;王陶;杨扬
主分类号	C23C16/27(2006.01)I	IPC主分类号	C23C16/27(2006.01)I;C23C16/458(2006.01)I
专利有效期	沉积金刚石涂层的装置至沉积金刚石涂层的装置	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种沉积金刚石涂层的装置。本实用新型沉积金刚石涂层的装置包括真空腔室和设置在所述真空腔室内的样品台，所述样品台包括传动杆和若干夹具，每一所述夹具包括夹持部和与所述夹持部固定连接的连杆，在所述连杆上设有从动轮，所述传动杆驱动所述从动轮转动实现所述夹持部的旋转。当将待生长金刚石涂层的模具夹设在所述装置的夹具所含夹持部后，在所述传动杆驱动下，所述模具能够发生360度的旋转，从而能够方便控制所述模具特别是大尺寸复杂模具的转动，从而实现在所述模具表面形成生长均匀的金刚石涂层，特别是能够使得拉丝模具的微孔内表面上生长均匀的金刚石涂层，而且提高了金刚石涂层与模具结合强度。