专利详情

专利名称	基于离子成像的真空紫外光横向分布在线测量装置
申请号	CN201721737016.6	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN207763824U	公开（授权）日	2018.08.24
申请（专利权）人	中国科学院大连化学物理研究所	发明（设计）人	李钦明;余永;杨家岳;丁洪利;张未卿;杨学明
主分类号	G01J1/42(2006.01)I	IPC主分类号	G01J1/42(2006.01)I;G01J11/00(2006.01)I
专利有效期	基于离子成像的真空紫外光横向分布在线测量装置至基于离子成像的真空紫外光横向分布在线测量装置	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了基于离子成像的真空紫外光横向分布在线测量装置，所述测量装置包括：真空件，离子传输系统，离子位置探测器，光学传输系统，图像采集系统，数据处理系统。本实用新型可以通过改变气体种类，在线式测量真空紫外光的横向分布。通过选取不同的气体种类可以保证测量信号保持在最佳范围，同时因为离子探测器的灵敏度很高，而且不受外界电磁信号和机械振动的影响，可以获得非常高的测量精度。